Dvipolių tranzistorių technologinių procesų modeliavimas ir analizė (Projektas)

Ši mokymo medžiaga skirta studentams ir įmonių atstovams, siekiantiems įgyti praktinių žinių apie dvipolių tranzistorių gamybos procesų analizę ir modeliavimą, naudojant Silvaco TCAD Victory Process ir Victory Device aplinkas. Mokymosi sistemoje pateikiamas nuoseklus technologinio proceso pavyzdys: nuo silicio padėklo formavimo, oksidacijos, fotolitografijos, difuzijos, epitaksijos ir ėsdinimo iki metalizacijos bei galutinės struktūros ir jos parametrų išskyrimo, leidžiantis suprasti ryšį tarp technologinių procesų ir įtaiso charakteristikų (sandūrų gylių, paviršinių varžų, priemaišų koncentracijų ir pan.). Atlikdami užduotis studijuojantys ugdo praktinius darbo su modeliavimo įrankiais įgūdžius ir gebėjimą interpretuoti rezultatus, o įsisavinę pagrindus pereina prie sudėtingesnių, kursinio darbo lygio užduočių, kurias vykdo savarankiškai, konsultuodamiesi su dėstytoju ar srities specialistais.

Tikslinė auditorija: studentai, įmonių inžinieriai ir specialistai, dirbantys arba planuojantys dirbti puslaidininkių technologijų ir elektronikos srityje, turintys bazines šios srities žinias.